光刻是一種成熟的實現多層電子電路的制造方法。然而，由于厚的可伸展納米復合導體的不透明性，采用光刻技術來制造完全由彈性基質組成的本質可伸展的多層電子電路是具有挑戰性的。
在這里，首爾大學Seung Hwan Ko，韓國科學技術學院Hojeong Jeon，Wonryung Lee提出了光熱光刻，可以圖案彈性導體和通孔使用脈沖激光。
文章要點
1）基于激光空間加熱形成的滲流網絡，光熱圖案化可拉伸納米復合導體在30%應變5000次拉伸下表現出比絲網印刷導體高3倍的電導率(5940 S cm?1)和5個數量級的低電阻變化(R/R0=40)。
2）此外，50μm大小的可伸展通孔可以在鈍化的基礎上形成圖案，而不會對底部導體進行材料燒蝕和電氣退化。通過重復地對導體和通孔進行圖案化，高導電性和耐用的多層電路可以與逐層材料集成堆疊在一起。
3）最后，研究人員展示了一種可擴展的無線壓力傳感器和無源矩陣LED陣列，從而展示了一種耐用、高密度和多功能的可擴展多層電子電路的潛力。
參考文獻
Sangmin Song, et al, Photothermal Lithography for Realizing a Stretchable Multilayer Electronic Circuit Using a Laser, ACS Nano, 2023
DOI: 10.1021/acsnano.3c06207
https://doi.org/10.1021/acsnano.3c06207
