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為了釋放硅異質結太陽能電池的全部性能，需要減少寄生損耗。在這里，蘇州大學Zhang Xiaohong、Yang Xinbo、Zhou Jian、新南威爾士大學Alison Lennon開發了一種工業規模的高頻等離子體增強化學氣相沉積系統。

本文要點：

1) 該系統具有最小化的駐波效應，能夠沉積具有優異電子選擇性、低寄生吸收和高均勻性的摻雜nc-SiO_x:H。接下來，作者展示了無籽鍍銅，從而產生具有高縱橫比和低金屬分數的網格。

2) 對于具有絲網印刷銀電極和鍍銅電極的M6尺寸雙面硅異質結器件，作者分別獲得了25.98%和26.41%的認證效率。這些結果強調了硅異質結技術的性能潛力，并降低了大規模制造的門檻。

參考文獻：

Cao Yu et.al Industrial-scale deposition of nanocrystalline silicon oxide for 26.4%-efficient silicon heterojunction solar cells with copper electrodes Nature Energy 2023

DOI: 10.1038/s41560-023-01388-4

https://doi.org/10.1038/s41560-023-01388-4