三維異質結集成技術能夠在垂直方向堆疊不同的功能層構筑新型3D電路,從而實現高度的集成密度和無與倫比的多功能,因此人們認為三維異質結集成技術可能引發電子學器件領域的變革。
但是,傳統的3D集成技術通常包括復雜的晶圓加工和復雜的層間排線。
有鑒于此,圣路易斯華盛頓大學Sang-Hoon Bae、麻省理工學院Jeehwan Kim、延世大學Jong-Hyun Ahn等通過具有豐富集程度和多功能的人工智能硬件和二維材料進行3D集成。
參考文獻
Kang, JH., Shin, H., Kim, K.S. et al. Monolithic 3D integration of 2D materials-based electronics towards ultimate edge computing solutions. Nat. Mater. (2023)
DOI: 10.1038/s41563-023-01704-z
https://www.nature.com/articles/s41563-023-01704-z