二維過渡金屬二硫族化合物（TMDs）為基礎納米科學和各種技術應用提供了重要機會。由于它們在納米尺度上的特殊性質，如可調帶隙和強光與物質的相互作用，使它們在光電子和能量收集設備中極具應用潛力。TMD器件的性能主要由其結構、組成、尺寸、缺陷及其界面狀態決定。TMDs的許多性質都受到合成方法的影響，因此許多研究都集中在加工具有可控物理化學性質的高質量TMDs上。基于等離子體的方法是成本效益高、可控性好、可擴展的技術，最近受到研究人員的廣泛關注。近日，麥克馬斯特大學Peter Kruse、謝里夫理工大學Abdolreza Simchi對二維過渡金屬二硫族化合物的等離子體處理進行了綜述研究。
本文要點：
1) TMDs對等離子體的反應性為TMDs的表面改性提供了許多機會，包括功能化、缺陷工程、摻雜、氧化、相工程、蝕刻、形態變化和表面能變化。為此，作者全面回顧了等離子體在TMDs領域的所有作用。
2) 作者介紹并討論了TMDs等離子體處理和改性背后的基礎科學及其在不同領域的應用，并強調了未來的前景和挑戰，以證明TMDs的重要性和表面工程在下一代光電子應用中的重要性。
Saeed Sovizi et.al Plasma Processing and Treatment of 2D Transition Metal Dichalcogenides: Tuning Properties and Defect Engineering Chem. Rev. 2023
DOI: 10.1021/acs.chemrev.3c00147
https://doi.org/10.1021/acs.chemrev.3c00147
