微電子、熱電和光子設(shè)備的熱控制需要在納米尺度上識(shí)別熱路徑的實(shí)用技術(shù)。使用各種方法的納米級(jí)測溫已經(jīng)得到了廣泛的研究，但還沒有最終確定可靠的方法。
近日，美國國家材料科學(xué)研究所Naoyuki Kawamoto開發(fā)了一種獨(dú)創(chuàng)的技術(shù)，利用室溫下脈沖會(huì)聚電子束在掃描電子顯微鏡(STEM)模式下誘導(dǎo)的熱波。
文章要點(diǎn)
1）通過量化每個(gè)輻照位置的相對(duì)位相延遲，研究人員證明了在空間分辨率為~10 nm、溫度分辨率為0.01K的各種樣品中的熱輸運(yùn)，定量地證實(shí)了聲子-表面散射由于熱擴(kuò)散率的抑制。
2）研究人員模擬了脈沖會(huì)聚電子束附近的聲子-晶界散射和彈道聲子輸運(yùn)。
參考文獻(xiàn)
Hieu Duy Nguyen, et al, STEM in situ thermal wave observations for investigating thermal diffusivity in nanoscale materials and devices, Sci. Adv. 10 (2), eadj3825. DOI: 10.1126/sciadv.adj3825
https://www.science.org/doi/10.1126/sciadv.adj3825
