機(jī)械諧振器廣泛用于傳感器、換能器和光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)，其中機(jī)械耗散限制了最終性能。近日，洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院Tobias Jan Kippenberg、Alberto Beccari、查爾姆斯理工大學(xué)Nils Johan Engelsen對使用耗散稀釋的納米機(jī)械諧振器進(jìn)行了綜述研究。
本文要點(diǎn)：
1) 過去15多年來，機(jī)械諧振器的質(zhì)量因子增加了四個(gè)數(shù)量級，超過了室溫和液氦溫度下在晶體諧振器中實(shí)現(xiàn)的技術(shù)狀態(tài)。作者概述了這些進(jìn)展是如何利用“耗散稀釋”取得的，即通過靜態(tài)拉伸應(yīng)變和動態(tài)應(yīng)變中的幾何非線性組合來減少耗散。
2) 然后，作者回顧了納米機(jī)械諧振器的技術(shù)現(xiàn)狀，并討論了晶體材料中更高質(zhì)量因子的潛力。最后，作者詳細(xì)介紹了耗散稀釋機(jī)械諧振器的當(dāng)前和未來應(yīng)用。
Nils Johan Engelsen et.al Ultrahigh-quality-factor micro- and nanomechanical resonators using dissipation dilution Nature Nanotechnology 2024
DOI: 10.1038/s41565-023-01597-8
https://doi.org/10.1038/s41565-023-01597-8
