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Nature Communications:離子束減薄工藝突破柔性光電子器件銀膜的厚度極限
吳宗涵 吳宗涵 2024-03-13

將銀膜縮小到10納米理論上可以提高透明度,但在實踐中由于超薄膜往往是不連續的而導致透明度和電導率降低鑒于此,來自湖南大學Huigao DuanYiqin Chen等人研究開發了一種減薄工藝來解決這一難題

文章要點:

1) 該研究證實,銀膜首先沉積到具有高連續性的大厚度,然后減薄到具有超光滑表面的小厚度,這兩種方法都是通過注入離子束實現的同時,在沉積過程中,銀原子淺層注入基底,使銀膜的厚度可達4.5 nm,?比以往任何時候都薄;

2) 此外,該研究表明,原子級表面光滑具有良好的可見透明度、導電性和所有現有透明導體中最低的霧度并且,超薄銀膜表現出機械柔性的獨特穩健性因此,工藝為柔性光電子器件提供了一種非常前景的透明導體解決方案。

參考資料:

Ma, D., Ji, M., Yi, H. et al. Pushing the thinness limit of silver films for flexible optoelectronic devices via ion-beam thinning-back process. Nat. Commun. (2024).

10.1038/s41467-024-46467-6

https://doi.org/10.1038/s41467-024-46467-6


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