可拉伸壓力傳感器陣列是仿生電子皮膚（e-skin）的理想選擇。然而，傳統的壓力傳感器在拉伸時表現出明顯的應變干擾。
于此，電子科技大學林媛、黃振龍等人介紹了一種基于雙頻帶激光選擇性蝕刻的先進制造方法，以創建不受應變干擾的可拉伸壓力傳感器陣列。
本文要點：
1） 將完整的敏感膜夾在頂部電極和底部電極之間，然后蝕刻成單獨的感測單元。采用具有極低楊氏模量（0.157kPa）的硅膠作為應變緩沖層，填充傳感單元內的空間以在拉伸過程中吸收器件應變。
2） 壓力傳感器陣列表現出卓越的無干擾性能，感測單元的電阻在超過20%的應變下保持不變。制造了32×32個單元的壓力傳感器陣列，在壓縮和釋放過程中，電阻響應時間分別為≈40 ms和20 ms，在1–70 kPa范圍內，靈敏度為0.7702 kPa?1。
3） 最后，將傳感器陣列作為仿生電子皮膚集成到機械手中，并結合深度學習算法，成功識別靜態和動態壓力分布，在識別2D形狀和物體方面實現了99%以上的平均準確率。
參考文獻：
H. Xie, Z. Huang, J. Wan, R. Zhou, T. Chen, Y. Wang, D. Cheng, L. Yang, J. Ji, Y. Jiang, T. Wu, J. Liu, T. Pan, B. Jiang, J. Zhu, G. Yao, M. Gao, Y. Lin, Dual-Band Laser Selective Etching for Stretchable and Strain Interference-Free Pressure Sensor Arrays. Adv. Funct. Mater. 2024, 2401532.
https://doi.org/10.1002/adfm.202401532
