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機電金屬氧化物，例如壓電陶瓷，由于其結晶度要求，通常與軟聚合物不相容，導致加工溫度較高。

近日，丹麥技術大學Vincenzo Esposito，Victor Buratto Tinti探索了二氧化鈰基薄膜作為柔性電子產品機電致動器的潛力。

文章要點

1）缺氧螢石，如二氧化鈰，是中心對稱的非壓電晶體金屬氧化物，具有巨大的電致伸縮性能。 這些薄膜在低溫下沉積，可與聚酰亞胺和 PET 等各種軟基材無縫集成。二氧化鈰薄膜表現出顯著的電致伸縮性能（M₃₃ > 10^?16 m² V^?2 ）和逆偽壓電系數（e₃₃ > 500 pmV^?1 ），可在軟機電系統中實現大位移。

2）研究人員研究探索了低頻范圍（<1 kHz）下的諧振和非諧振配置，展示了三維和透明電子產品的多功能性。因此，這項工作促進了對氧缺陷金屬氧化物機電性能的理解，為開發用于生物醫學設備、光學設備等領域的多功能高效機電系統鋪平了道路。

參考文獻

Victor Buratto Tinti, et al, Oxygen-defective electrostrictors for soft electromechanics, Sci. Adv. 10, eadq3444 (2024)

DOI: 10.1126/sciadv.adq3444