激光剝離技術(shù)（Laser Lift-Off, LLO）在超薄聚酰亞胺（PI）薄膜的制造中具有重要作用，尤其是在顯示屏的生產(chǎn)過程中。然而，傳統(tǒng)LLO技術(shù)在分離超薄PI薄膜時常會面臨機械和電氣損傷的問題，影響集成器件的性能。為了解決這一問題，來自德克薩斯農(nóng)工大學(xué)的Seungman Kim提出了一種基于石墨烯的激光剝離方法（GLLO）。通過將化學(xué)氣相沉積（CVD）生長的石墨烯與超薄PI薄膜之間進行界面結(jié)合，顯著改善了工藝性能并提高了剝離質(zhì)量。
文章要點：
（1）該研究提出了一種基于石墨烯的激光剝離方法（GLLO），石墨烯在該過程中具有以下三個主要作用：增強界面UV吸收、提高橫向熱擴散和減少附著力，實驗結(jié)果表明，該方法不僅能有效減小PI薄膜的塑性變形，還能顯著減少剝離過程中產(chǎn)生的碳化殘留。
（2）此外，該研究還通過數(shù)值模擬驗證了該機制的有效性，且該方法成功應(yīng)用于分離有機發(fā)光二極管（OLED）器件，并不影響器件性能，為未來利用CVD石墨烯在激光制造工藝中的應(yīng)用提供了新的可能性。
參考資料：
Kang, S., Chang, J., Lim, J. et al. Graphene-enabled laser lift-off for ultrathin displays. Nat Commun 15, 8288 (2024).
10.1038/s41467-024-52661-3
https://doi.org/10.1038/s41467-024-52661-3
